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放置地点：15号楼C座102

设备简介：型号：MFP-3D-infinity;国别/生产厂家：美国Asylum Research;仪器组成：准分子激光器、传样腔、PLD生长腔、高压RHEED系统和循环水冷却系统等。准分子激光器是用KrF气体作为工作物质，波长为248nm。激光经过光路系统聚焦的激光束作用在靶材，靶材吸收能量后在短时间内蒸发产生具有多种粒子的等离子体羽辉。由于等离子体具有一定的动能，能够定向到达衬底表面，并在此过程中与气体发生碰撞。在到达衬底表面后靠着残留能量和加热衬底的能量，快速地成核生长得到具有一定致密度的薄膜。

仪器主要用途：

1.在大气及液体环境下准确地观测样品表面微区(纳米及亚微米尺度)三维形貌;

2.可对样品表面物理化学特性进行研究;

3.可测试多种材料如纤维材料、膜材料、生物材料、高分子材料等非金属材料以及金属材料、复合材料的多种物性，包括表面组分区别、温度、表面电势、磁场力、静电力、摩擦力、电流、扫描隧道显微镜和其他表面力以及电化学相互作用力的测量。

主要规格及技术指标：

1.XY扫描器范围90 μm×90 μm；Z轴扫描器范围可达15 μm（可升级为40 μm），XY轴闭环传感器噪音小于150 pm，Z轴闭环传感器噪音小于35 pm；
2.光电探测器采集带宽7 MHz，光学系统噪音(探针未接触样品表面) <10 pm (Adev，0.1 Hz到1 KHz带宽)；

3.系统高度噪音，系统高度噪音(探针接触样品表面)<20 pm（Adev，0.1 Hz到1 KHz带宽）；

4.导电AFM (ORCA)模块用于电流成像和I/V曲线测试，内置增益5×108，实现1 pA至20 nA的测试范围；

5.PHEAT-PEEK材料高温加热器，CTRL-HTR-INFIN环境控制器，在大气环境下对样品施加室温至300 ℃的温控，精度不低于0.2 ℃；

6.在不改变AFM系统任何结构的情况下，可以无障碍地进行以下升级：样品外加磁场附件，VFM3模块。由稀土永磁铁构成，避免了热漂移对磁场的影响。水平方向磁场大于+/-7,000 G，可在水平和垂直方向上加磁场。PFM高压附件，将针尖和样品间的电压提高到+/-150 V。